- 专利标题: 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法
- 专利标题(英): Pressure detection structure based on optical signal, and use method thereof
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申请号: CN201910345791.4申请日: 2019-04-26
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公开(公告)号: CN110031140A公开(公告)日: 2019-07-19
- 发明人: 刘黎明 , 张小文 , 迟锋 , 易子川 , 张智 , 吴艳花 , 王云祥
- 申请人: 电子科技大学中山学院
- 申请人地址: 广东省中山市石岐区学院路1号
- 专利权人: 电子科技大学中山学院
- 当前专利权人: 电子科技大学中山学院
- 当前专利权人地址: 广东省中山市石岐区学院路1号
- 代理机构: 重庆萃智邦成专利代理事务所
- 代理商 竺栋
- 主分类号: G01L1/24
- IPC分类号: G01L1/24
摘要:
本发明属于光学微结构领域,具体涉及一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法,由下及上依次设有:衬底层、柔性材料层和金属微纳结构层,金属微纳结构层上设有不少于一个的通孔,通孔内填充有柔性物质,柔性物质上固定有一手性金属微纳结构,柔性物质的厚度大于金属微纳结构层的厚度,通过柔性物质和柔性材料层的设置,将手性金属微纳结构设于柔性材料之上,手性金属微纳结构与通孔之间具有一定的高度差,耦合主要集中在纵向方向上,而非水平方向上,为平面手性结构的设计提供了一种新的思路。
公开/授权文献
- CN110031140B 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 公开/授权日:2022-11-18