发明公开
- 专利标题: 基于椭圆多模干涉的垂直水平双功能耦合器
- 专利标题(英): Vertical horizontal dual-function coupler based on elliptical multi-mode interference
-
申请号: CN201810042056.1申请日: 2018-01-16
-
公开(公告)号: CN110045464A公开(公告)日: 2019-07-23
- 发明人: 何祖源 , 张文甲 , 庞拂飞 , 张万强
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海交达专利事务所
- 代理商 王毓理; 王锡麟
- 主分类号: G02B6/30
- IPC分类号: G02B6/30 ; G02B6/26
摘要:
一种基于椭圆多模干涉的垂直水平双功能耦合器,包括:椭圆多模干涉仪和分别与之相连的用来进行垂直耦合的光栅耦合器、用来进行端面耦合的端面耦合器,其中:光栅耦合器和端面耦合器分时使用,椭圆多模干涉仪针对一条主输入波导进行优化或者针对两条通道平衡。本发明既可以满足硅晶圆加工过程中的测试,又不会影响最后封装时的效果。
公开/授权文献
- CN110045464B 基于椭圆多模干涉的垂直水平双功能耦合器 公开/授权日:2020-09-29