本发明提供了一种单分散超小二氧化硅纳米颗粒及其制备方法，属于二氧化硅制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将SiO2球、水和保护剂混合，对SiO2球进行包覆，得到包覆混合料；将所述包覆混合料与刻蚀剂混合，在室温搅拌条件下进行刻蚀反应，得到单分散超小二氧化硅纳米颗粒。本发明提供的制备方法简单、能耗低，在室温搅拌条件下，可以使刻蚀剂进入二氧化硅内部，在二氧化硅内部会先形成非中空多孔的结构，这种结构坍塌以后即可制得单分散超小二氧化硅纳米颗粒，且制得的二氧化硅纳米颗粒分散性好。