发明授权
- 专利标题: 三维存储器件及其制作方法
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申请号: CN201880005101.4申请日: 2018-07-30
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公开(公告)号: CN110088903B公开(公告)日: 2020-03-03
- 发明人: 陈子琪 , 吴关平
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京永新同创知识产权代理有限公司
- 代理商 林锦辉
- 优先权: 201710772349.0 2017.08.31 CN
- 国际申请: PCT/CN2018/097723 2018.07.30
- 国际公布: WO2019/042058 EN 2019.03.07
- 进入国家日期: 2019-06-17
- 主分类号: H01L27/1157
- IPC分类号: H01L27/1157 ; H01L27/11578
摘要:
公开了一种用于形成3D存储器件的方法。该方法包括:在基底上形成包括多个第一介电层和第二介电层的交替绝缘体堆叠层;形成穿透交替绝缘体堆叠层的沟道孔,沟道孔下部的第一直径小于沟道孔上部的第二直径;在沟道孔中形成包括功能层的沟道结构,功能层包括存储层;在沟道孔的上部形成电极插塞;用第二绝缘层取代沟道孔上部的功能层中的存储层;以及用多个导电层取代交替绝缘体堆叠层中的多个第二介电层。
公开/授权文献
- CN110088903A 三维存储器件及其制作方法 公开/授权日:2019-08-02
IPC分类: