本发明实施例提供一种掩膜版、掩膜系统及蒸镀掩膜方法，涉及掩膜版领域，能够减少蒸镀材料的浪费；该掩膜版包括掩膜图案区以及位于掩膜图案区四周的非掩膜图案区，掩膜版包括依次设置的第一基板、导光图案层、垂直导热层；导光图案层至少部分位于掩膜图案区，垂直导热层至少覆盖掩膜图案区；垂直导热层背离第一基板一侧的表面作为掩膜版的出光面；导光图案层包括：多种不同朝向的调光面；掩膜版接收的不同方向的入射光线，经导光图案层的不同的调光面进行调光后，在出光面具有不同的出光区域。