高功率磁控管用直热式阴极及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种高功率磁控管用直热式阴极及其制备方法,该制备方法包括如下步骤,将金属钨粉和氧化钍粉混合研磨得到钨钍合金粉末,钨钍合金粉末与1.5~3wt%的硝化棉溶液混合得到混合溶液,将混合溶液喷覆在钨丝阴极基底表面,置于红外灯下烘烤,得到表面有钨钍合金粉的钨丝阴极,然后放入高温氢气炉中烧结,再进行高温去污及碳化,即制备得到高功率磁控管用直热式阴极。本发明的高功率磁控管用直热式阴极能够提高磁控管用纯钨丝阴极的发射电流密度,降低纯钨丝阴极的工作温度及表面蒸发率,从而延长阴极及磁控管的寿命。
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