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发明公开
CN110140021A 测量装置、涂布装置及膜厚测定方法 无效 - 驳回

  • 专利标题： 测量装置、涂布装置及膜厚测定方法
  • 专利标题（英）： MEASURING DEVICE, APPLICATION DEVICE, AND FILM THICKNESS MEASURING METHOD
  • 申请号： CN201780081240.0
    申请日： 2017-11-28
  • 公开(公告)号： CN110140021A
    公开(公告)日： 2019-08-16
  • 发明人: 大庭博明
  • 申请人： NTN株式会社
  • 申请人地址： 日本大阪府
  • 专利权人： NTN株式会社
  • 当前专利权人： NTN株式会社
  • 当前专利权人地址： 日本大阪府
  • 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
  • 代理商 俞丹; 宋俊寅
  • 优先权： 2016-253901 2016.12.27 JP
  • 国际申请： PCT/JP2017/042589 2017.11.28
  • 国际公布： WO2018/123398 JA 2018.07.05
  • 进入国家日期： 2019-06-27
  • 主分类号： G01B11/06
  • IPC分类号： G01B11/06 ;  B05C1/02 ;  B05C5/00 ;  B05C11/00 ;  G01N21/45
测量装置、涂布装置及膜厚测定方法
摘要：
本发明提供一种测量基板上的透明材料的膜厚的方法。在基板上，将第一对象物(透明材料)涂布到第一基板表面上，并将第二对象物(透明材料)涂布到第二基板表面上。该方法包括：测量第一对象物的前表面相对于第一基板表面在未涂布第一对象物的位置处的第一相对高度；测量第一对象物的前表面相对于第一对象物的后表面的第二相对高度；基于第一相对高度和第二相对高度计算透明材料的折射率(S10)。该方法还包括使用第二对象物的前表面相对于第二对象物的后表面的第三相对高度以及计算出的折射率来测量第二对象物的膜厚(S20)。
摘要（英）：

Disclosed is a method for measuring the film thickness of a transparent material on a substrate. On the substrate, a first subject(transparent material) is applied to a first substrate front surface,and a second subject (transparent material) is applied to a second substrate front surface. The method includes: a step for measuring the first relative height of the front surface of the first subject with respect to the first substrate front surface at a position where the first subject is not applied; a step for measuring the second relative height of the front surface of the first subject withrespect to the rear surface of the first subject; and a step (S10) for calculating the refractive index of the transparent material on the basis of the first relative height and the second relative height. The method also includes a step (S20) for measuring the film thickness of the second subject using the third relative height of the front surface of the second subject with respect to the rearsurface of the second subject, and the refractive index thus calculated.

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