- 专利标题： 用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统
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申请号： CN201780081876.5申请日： 2017-11-21
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公开(公告)号： CN110140038B公开(公告)日： 2021-06-15
- 发明人: B·萨达尼 , M·梅德哈特 , M·纳吉 , A·什布尔 , Y·M·萨布里 , B·莫塔达 , D·卡里尔
- 申请人： 斯维尔系统
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 斯维尔系统
- 当前专利权人： 斯维尔系统
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 郑立柱; 傅远
- 优先权： 62/425,028 20161121 US 15/818,736 20171120 US
- 国际申请： PCT/US2017/062854 2017.11.21
- 国际公布： WO2018/094407 EN 2018.05.24
- 进入国家日期： 2019-07-01
- 主分类号： G01M11/00
- IPC分类号： G01M11/00 ; G01R31/311 ; G02B5/04
摘要：
本公开的各方面涉及一种用于执行具有面内光轴的光学微机电系统(MEMS)结构的晶片测试的集成光学探针卡和系统。可以利用一个或多个微光学平台组件来执行光学MEMS结构的晶片上光学屏蔽，以在垂直于面内光轴的面外方向与平行于面内光轴的面内方向之间重定向光以便能够通过光的竖直注入来测试光学MEMS结构。
公开/授权文献
- CN110140038A 用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统 公开/授权日：2019-08-16
