发明授权
CN110172729B 一种浮法硅片的生产设备及其生产方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种浮法硅片的生产设备及其生产方法
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申请号： CN201910531399.9申请日： 2019-06-19
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公开(公告)号： CN110172729B公开(公告)日： 2020-12-08
- 发明人: 沈渝瀚 , 许颖 , 丁阳
- 申请人： 江阴市广跃新材料科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省无锡市江阴市周庄镇砂山大道155号
- 专利权人： 江阴市广跃新材料科技有限公司
- 当前专利权人： 江阴市广跃新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省无锡市江阴市周庄镇砂山大道155号
- 代理机构： 石家庄轻拓知识产权代理事务所
- 代理商 王璐
- 主分类号： C30B15/00
- IPC分类号： C30B15/00 ; C30B15/14 ; C30B15/20 ; C30B29/06
摘要：
本发明公开了一种浮法硅片的生产设备，包括坩埚和高温料槽，所述高温料槽底部设置有第一加热器，高温料槽的出料端通过伺服电机连接有拉杆，拉杆的顶部连接有片状籽晶，高温料槽出料端的外侧设置有若干个托辊，托辊内设置有冷却器，片状籽晶外侧设置有加热框架，加热框架与片状籽晶间隙配合，加热框架固定在拉杆上，加热框架内设置有若干个组第二加热器。本发明能够改进现有技术的不足，减少浮法硅片边缘出现缺陷。
公开/授权文献
- CN110172729A 一种浮法硅片的生产设备及其生产方法 公开/授权日：2019-08-27
IPC分类:
