一种分块式多波段滤镜的掩膜板成像系统
摘要:
本发明公开了一种分块式多波段滤镜的掩膜板成像系统。包括掩膜板相机和分块式多波段滤镜,所述的掩膜板相机为由掩膜板和光电传感器阵列组成的无透镜相机,光电传感器阵列是有多个光电传感器紧密阵列排布而成,掩膜板置于光电传感器阵列的探测面前方,光电传感器阵列的探测面布置有分块式滤镜;分块式多波段滤镜采用滤光片分块式布置,每个波段对应的滤光片连续排列。本发明提高了掩膜板相机的多波段成像质量,简化了多波段滤镜加工工艺,为掩膜板相机多波段成像奠定基础。
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