Invention Grant
- Patent Title: 激光预热退火系统和方法
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Application No.: CN201910446747.2Application Date: 2019-05-27
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Publication No.: CN110181165BPublication Date: 2021-03-26
- Inventor: 蒋一鸣 , 陈静 , 侯晓弈 , 李震 , 陈威 , 李红 , 孙金召 , 王纪军 , 吴迪一 , 周炯
- Applicant: 北京华卓精科科技股份有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区清华大学学研综合楼B1009室
- Assignee: 北京华卓精科科技股份有限公司
- Current Assignee: 北京华卓精科科技股份有限公司,杭州天睿精密科技有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华大学学研综合楼B1009室
- Agency: 北京头头知识产权代理有限公司
- Agent 吕艳英
- Main IPC: B23K26/00
- IPC: B23K26/00 ; B23K26/082 ; B23K26/70 ; H01L21/268
Abstract:
本发明提供了激光预热退火系统和方法。该激光预热退火系统包括控制单元、激光发生装置、光学模块和载片装置；其中，所述激光发生装置包括第一波长主光源和第二波长辅助光源；所述光学模块包括主整形模块、辅助整形模块和合束装置；所述控制单元发出脉冲信号，以分别控制所述激光发生装置的激光脉冲时序和所述载片装置的同步时序运动。该激光预热退火系统具有增加激活深度，提高激活均匀性和激活效率，提高加工效率的优点。
Public/Granted literature
- CN110181165A 激光预热退火系统和方法 Public/Granted day:2019-08-30
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