本发明公开了一种低翘曲度红外截止滤光片及其镀膜方法，包括基板和设于所述基板表面的复合膜层，所述复合膜层通过交替叠合的高折射率材料H层和低折射率材料L层制成，所述高折射率材料层为二氧化钛、或五氧化三钛、或五氧化二钽、或五氧化二铌材料层，所述低折射率材料层为二氧化硅、或三氧化二铝、或氟化镁材料层；复合膜层的厚度为1500‑9000nm，通过选材、清洗、清洗、镀膜、参数检查、再次清洗及外观检查，完成对红外截止滤光片的镀膜。与现有技术相比，本发明采用特殊优化的镀膜参数来减少应力积累引起的翘曲度变形，避免常规镀膜参数为了降低翘曲度引起的吸收霉点等不良，便于后续加工良率的提升。