发明授权
摘要:
一种气体静压主轴气膜速度场测试装置,包括气体检测部分和气体静压主轴及供气部分,所述气体检测部分采用多普勒OCT结构,包括宽带相干光源、信号采集处理系统、参考臂,参考镜、50/50分束器、样品臂和检测探针,所述的宽带相干光源利用光纤与50/50分束器的输入端口相连,50/50分束器的两个输出端口分别以光纤连接,构建所述的样品臂与参考臂,参考臂将光束引导至参考镜前,检测探针位于样品臂上,信号采集处理系统利用光纤与50/50分束器的反射端口相连,所述检测探针放入气体静压主轴及供气部分的倾斜细孔内,检测探针密封固定于倾斜细孔内。本发明结构简单,适用范围广泛的气体静压主轴气膜速度场测试装置。
公开/授权文献
- CN110208571A 气体静压主轴气膜速度场测试装置 公开/授权日:2019-09-06
IPC分类: