发明公开

检测装置
摘要:
相位计算部(12)计算以由相似度计算部(11)计算出的第1相似度和第2相似度为元素的第1相似度向量的偏角作为第1相位。相位计算部(12)计算以由相似度计算部(11)计算出的第3相似度和第4相似度为元素的第2相似度向量的偏角作为第2相位。周期计算部(13)根据由相位计算部(12)计算出的第1相位和第2相位,计算长条体上形成的图案的周期。异常检测部(14)根据由周期计算部(13)计算出的周期检测长条体的异常。
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