发明公开
CN110226075A 检测装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 检测装置
- 专利标题(英): DETECTION DEVICE
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申请号: CN201780084710.9申请日: 2017-02-06
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公开(公告)号: CN110226075A公开(公告)日: 2019-09-10
- 发明人: 堀淳二 , 阪田恒次 , 桥口拓弥 , 望月敬太 , 渡边清高 , 笹井浩之
- 申请人: 三菱电机株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 马建军; 邓毅
- 国际申请: PCT/JP2017/004225 2017.02.06
- 国际公布: WO2018/142613 JA 2018.08.09
- 进入国家日期: 2019-07-25
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02 ; D01H13/32 ; G01B21/02 ; G01N21/892
摘要:
相位计算部(12)计算以由相似度计算部(11)计算出的第1相似度和第2相似度为元素的第1相似度向量的偏角作为第1相位。相位计算部(12)计算以由相似度计算部(11)计算出的第3相似度和第4相似度为元素的第2相似度向量的偏角作为第2相位。周期计算部(13)根据由相位计算部(12)计算出的第1相位和第2相位,计算长条体上形成的图案的周期。异常检测部(14)根据由周期计算部(13)计算出的周期检测长条体的异常。