发明授权
- 专利标题: 离子源及其工作方法、应用
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申请号: CN201910626284.8申请日: 2019-07-11
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公开(公告)号: CN110233094B公开(公告)日: 2024-07-05
- 发明人: 闻路红 , 洪欢欢 , 余晓梅 , 邵科敏 , 李文 , 范国正
- 申请人: 宁波大学 , 宁波华仪宁创智能科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市江北区风华路818号;
- 专利权人: 宁波大学,宁波华仪宁创智能科技有限公司
- 当前专利权人: 宁波大学,宁波华仪宁创智能科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市江北区风华路818号;
- 主分类号: H01J49/16
- IPC分类号: H01J49/16
摘要:
本发明提供了一种离子源及其工作方法、应用,所述离子源包括毛细管和放电电极;基体具有本体和延伸部;毛细管的一端固定在所述延伸部内,另一端伸出延伸部;放电电极的一端裸露在本体的第一凹槽内,另一端处于所述毛细管内;导向件包括上下设置的上部分和下部分;上部分的下侧具有第二凹槽,连接电极延伸到第二凹槽内;下部分具有与所述第二凹槽相对设置的第三凹槽;第三凹槽包括依次设置的第一部分、斜坡和第二部分,所述第二部分高于第一部分;第二部分的上壁和第三凹槽底壁间的距离不小于所述的厚度。本发明具有可靠性好、成本低、操作简便、检测平行性好等优点。
公开/授权文献
- CN110233094A 离子源及其工作方法、应用 公开/授权日:2019-09-13