物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪
摘要:
本申请提供物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪,其能够降低或防止在制造时或者因不同材料的热膨胀系数差而产生的应力应变对物理量检测信号产生不良影响。一种物理量传感器,具有基部、至少两个臂部、可动部、缩窄部以及物理量检测元件,在俯视观察下,固定区域配置于由第一直线划分而成的第一区域和第二区域,第一直线沿着横跨缩窄部的方向通过物理量检测元件的中心,并且,在俯视观察下,在由第一直线和第二直线划分而成的四个区域中,位于比第二直线更靠基部侧的第一区域的第三区域以及位于比第二直线更靠基部侧的第二区域的第四区域中的至少一方中没有配置固定区域,第二直线在缩窄部上通过且与第一直线正交。
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