- 专利标题: 物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪
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申请号: CN201910173618.0申请日: 2019-03-07
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公开(公告)号: CN110244082B公开(公告)日: 2022-10-28
- 发明人: 佐藤健太
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 潘树志
- 优先权: 2018-043532 20180309 JP
- 主分类号: G01P15/097
- IPC分类号: G01P15/097 ; G01P15/135 ; G01L1/10
摘要:
本申请提供物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪,其能够降低或防止在制造时或者因不同材料的热膨胀系数差而产生的应力应变对物理量检测信号产生不良影响。一种物理量传感器,具有基部、至少两个臂部、可动部、缩窄部以及物理量检测元件,在俯视观察下,固定区域配置于由第一直线划分而成的第一区域和第二区域,第一直线沿着横跨缩窄部的方向通过物理量检测元件的中心,并且,在俯视观察下,在由第一直线和第二直线划分而成的四个区域中,位于比第二直线更靠基部侧的第一区域的第三区域以及位于比第二直线更靠基部侧的第二区域的第四区域中的至少一方中没有配置固定区域,第二直线在缩窄部上通过且与第一直线正交。
公开/授权文献
- CN110244082A 物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪 公开/授权日:2019-09-17
IPC分类: