发明授权
- 专利标题： 一种掩膜版及蒸镀装置
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申请号： CN201910690580.4申请日： 2019-07-29
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公开(公告)号： CN110257769B公开(公告)日： 2021-11-12
- 发明人: 张治超
- 申请人： 云谷(固安)科技有限公司
- 申请人地址： 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
- 专利权人： 云谷(固安)科技有限公司
- 当前专利权人： 云谷(固安)科技有限公司
- 当前专利权人地址： 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
- 代理机构： 北京远智汇知识产权代理有限公司
- 代理商 张海英
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C14/24
摘要：
本发明公开了一种掩膜版及蒸镀装置，掩膜版包括多个开孔区和多个非开孔区，开孔区位于相邻的非开孔区之间，至少部分相邻的非开孔区之间设置有第一连接结构，第一连接结构贯穿位于对应的相邻非开孔区之间的开孔区且第一连接结构划分对应的开孔区为主体部和至少一个端部，所有非开孔区与所有第一连接结构构成一体结构。通过本发明的技术方案，有利于在实现蒸镀连续网格状结构的同时，降低掩膜版的张网难度。
公开/授权文献
- CN110257769A 一种掩膜版及蒸镀装置 公开/授权日：2019-09-20
IPC分类:
