相位调制器、相位调制器的控制方法以及条纹投影装置
摘要:
相位调制器(10)具有:一个以上的波导,所述一个以上的波导设置在基板(12)上,且至少包含第1波导(21);以及多个加热器,它们设置在基板(12)上。多个加热器包含:第1加热器(31),其对第1波导(21)进行加热;以及第2加热器(32),其对与第1波导(21)分离的位置进行加热,以使多个加热器的耗电的合计值恒定的方式进行驱动。也可以以使第1加热器(31)的耗电的变化量与第2加热器(32)的耗电的变化量相抵消的方式对多个加热器进行驱动。
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