- 专利标题： 多功能C4F7N/CO2混合气体配气系统、配气方法
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申请号： CN201910726123.6申请日： 2019-08-07
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公开(公告)号： CN110314565B公开(公告)日： 2024-03-15
- 发明人: 祁炯 , 刘伟 , 王刘芳 , 刘子恩 , 颜湘莲 , 赵跃 , 马凤翔 , 朱峰 , 王浩 , 何洁
- 申请人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 中国电力科学研究院有限公司
- 申请人地址： 安徽省合肥市经济开发区紫云路299号; ;
- 专利权人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院,国家电网有限公司,中国电力科学研究院有限公司
- 当前专利权人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院,国家电网有限公司,中国电力科学研究院有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市经济开发区紫云路299号; ;
- 代理机构： 合肥市浩智运专利代理事务所
- 代理商 王亚洲
- 主分类号： B01F23/10
- IPC分类号： B01F23/10
摘要：
本发明公开一种多功能C4F7N/CO2混合气体配气系统，C4F7N换热器用以对经所述C4F7N输入口输入的C4F7N进行加热汽化；CO2换热器用以对经CO2输入口输入的CO2进行加热汽化；C4F7N/CO2混合管路结构用以对加热后的C4F7N、CO2进行混合，C4F7N/CO2混合气体输出管路结构用以输出混合后的C4F7N/CO2混合气体；C4F7N/CO2混合管路结构包括C4F7N/CO2动态配气管路结构、C4F7N/CO2分压混合管路结构；C4F7N/CO2分压混合管路结构包括分压混合罐，分压混合罐用以对定压后的CO2、C4F7N进行混合；多个分压混合罐并联设置。本发明还公开一种多功能C4F7N/CO2混合气体配气方法。本发明具有配气速度快、配气精度高的优点。
公开/授权文献
- CN110314565A 多功能C4F7N/CO2混合气体配气系统、配气方法 公开/授权日：2019-10-11
