一种基于纳米级集成电路工艺的双向低触发ESD保护器件
摘要:
本发明属于电子技术领域,具体涉及静电放电(ESD:Electro‑Static discharge)保护电路的设计,尤指一种二极管直连触发的可控硅整流器(Diode‑Connected Silicon‑Controlled Rectifier简称DCSCR);具体为一种基于纳米级集成电路工艺的双向低触发ESD保护器件,用于解决现有DCSCR的反向触发电路的触发电压极大,因此并不能用于纳米级集成电路工艺下的低触发电压窗口的问题。本发明基于纳米级集成电路工艺的双向低触发ESD保护器件,可使用在输入端有正、负电压的情况下,提供有效的双向防护;且在版图改进后,该器件有更快的导通速度和更小的导通电阻,器件性能得到了进一步优化;特别适用于纳米级工艺下的双向ESD防护需求。
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