一种高精密双转角石英晶片的切割工艺
Abstract:
本发明公开了一种高精密双转角石英晶片的切割工艺,属于石英晶体切割技术领域。该工艺用线切割机对粘好的石英晶棒进行切割,在切割过程中,切割钢丝直径为0.10~0.15mm;研磨砂粒径为8~15um;砂液配比为1:1~1:1.4,搅拌时间为2.5~3.5小时;钢丝的线速度为250~270米/分;工作台进给速度为0.14毫米/分~0.18毫米/分;线供给速度为5~10米/分。本发明工艺具有操作简易、效率高、出片率高、切割角度精度高、角度离散小、石英晶片表面破坏程度低等特点,为高精度石英振荡器的批量生产奠定了坚实的基础。
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