• 专利标题: 一种多腔式半开腔共振光声池及多种气体同时测量系统
  • 专利标题(英): Multi-cavity type half-open resonance photoacoustic cell and system for measuring gases simultaneously
  • 申请号: CN201910657620.5
    申请日: 2019-07-20
  • 公开(公告)号: CN110346296A
    公开(公告)日: 2019-10-18
  • 发明人: 宫振峰高田力陈烨伟于清旭
  • 申请人: 大连理工大学
  • 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
  • 专利权人: 大连理工大学
  • 当前专利权人: 大连理工大学
  • 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
  • 代理机构: 大连理工大学专利中心
  • 代理商 温福雪; 侯明远
  • 主分类号: G01N21/01
  • IPC分类号: G01N21/01 G01N21/17
一种多腔式半开腔共振光声池及多种气体同时测量系统
摘要:
本发明属于痕量气体检测技术领域,一种多腔式半开腔共振光声池及多种气体同时测量系统。该光声池包含多个谐振腔,每个谐振腔长度不同,导致其共振频率不同,因此每个谐振腔对应一种待测气体。在光声池的一侧端面固定声波传感器敏感膜片,多个谐振腔内产生的不同频率的光声信号作用在声波传感器敏感膜片上,从而引起声波传感器敏感膜片的周期性振动,通过解调分析声波传感器敏感膜片的振动情况可以获得多种待测气体的浓度信息。该光声池结构设计更加简化,谐振腔中间位置不需要开孔配合声波传感器的使用,减小了光声池的加工难度。同时该设计减小了一个缓冲室的体积,因此缩短了气体的平衡时间,为高灵敏度多气体的同时测量提供了新的解决方案。
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