一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法
摘要:
本发明公开了一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法,包括以下步骤:S1.用清洗剂超声清洗基材,清洗后干燥得透明导电衬底;S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中,通入比例为1:6的氧气与氩气,控制总压强为1Pa,靶材与透明导电衬底的距离为8cm,沉积载流子传输层,沉积时间15min;沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室,将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。与现有技术相比,工艺方面更加简单,同时能够与磁控溅射结合连续制备,不需要增加过多的成本,经济上可行;性能方面,界面处面积增加即可以提供更多的载流子分离与传输通道,抑制界面处的电子-空穴对复合,从而提升样品的光电化学性能。
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