发明公开
- 专利标题: 一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法
- 专利标题(英): Method for optimizing charge separation efficiency of carrier conduction layer
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申请号: CN201910612490.3申请日: 2019-07-09
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公开(公告)号: CN110359022A公开(公告)日: 2019-10-22
- 发明人: 云山 , 郭探 , 洪坤 , 陈静 , 李彦兴 , 李华举
- 申请人: 淮阴工学院
- 申请人地址: 江苏省淮安市经济技术开发区枚乘路1号
- 专利权人: 淮阴工学院
- 当前专利权人: 淮阴工学院
- 当前专利权人地址: 江苏省淮安市经济技术开发区枚乘路1号
- 代理机构: 淮安市科文知识产权事务所
- 代理商 马海清
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/58 ; C23C14/08 ; C23C14/06
摘要:
本发明公开了一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法,包括以下步骤:S1.用清洗剂超声清洗基材,清洗后干燥得透明导电衬底;S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中,通入比例为1:6的氧气与氩气,控制总压强为1Pa,靶材与透明导电衬底的距离为8cm,沉积载流子传输层,沉积时间15min;沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室,将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。与现有技术相比,工艺方面更加简单,同时能够与磁控溅射结合连续制备,不需要增加过多的成本,经济上可行;性能方面,界面处面积增加即可以提供更多的载流子分离与传输通道,抑制界面处的电子-空穴对复合,从而提升样品的光电化学性能。
公开/授权文献
- CN110359022B 一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法 公开/授权日:2020-10-27
IPC分类: