发明授权
- 专利标题: 一种硅片生产用超声波清洗机
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申请号: CN201910743796.2申请日: 2019-08-13
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公开(公告)号: CN110369393B公开(公告)日: 2021-04-06
- 发明人: 余江湖 , 刘君 , 郑松
- 申请人: 安徽晶天新能源科技有限责任公司
- 申请人地址: 安徽省马鞍山市承接产业转移示范园区北京大道嘉善科技园
- 专利权人: 安徽晶天新能源科技有限责任公司
- 当前专利权人: 安徽晶天新能源科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 安徽省马鞍山市承接产业转移示范园区北京大道嘉善科技园
- 主分类号: B08B3/12
- IPC分类号: B08B3/12 ; B08B3/04 ; B08B3/10 ; B08B3/02 ; F26B5/08
摘要:
本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机,包括机身,所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板,且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机,所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖,且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒,该硅片生产用超声波清洗机,通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力,一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面,提高清洗的效果和均匀性,另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒,减少转筒内的杂质含量,为后续二次清洗提供洁净的环境,减少后续清洗液中杂质的再次附着,提高清洗的洁净程度。
公开/授权文献
- CN110369393A 一种硅片生产用超声波清洗机 公开/授权日:2019-10-25
IPC分类: