一种硅片生产用超声波清洗机
摘要:
本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机,包括机身,所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板,且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机,所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖,且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒,该硅片生产用超声波清洗机,通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力,一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面,提高清洗的效果和均匀性,另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒,减少转筒内的杂质含量,为后续二次清洗提供洁净的环境,减少后续清洗液中杂质的再次附着,提高清洗的洁净程度。
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