发明公开
- 专利标题: 扫描镜、扫描装置和照射装置
- 专利标题(英): Scanning mirror, scanning device, and illumination device
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申请号: CN201910307770.3申请日: 2019-04-17
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公开(公告)号: CN110398795A公开(公告)日: 2019-11-01
- 发明人: R·布吕斯特勒 , T·马尔特
- 申请人: 通快激光有限责任公司
- 申请人地址: 德国施兰贝格
- 专利权人: 通快激光有限责任公司
- 当前专利权人: 通快激光有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国施兰贝格
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 侯鸣慧
- 优先权: 102018205786.9 2018.04.17 DE
- 主分类号: G02B5/08
- IPC分类号: G02B5/08 ; G02B26/10 ; G02B1/00 ; B23K26/06
摘要:
本发明涉及一种用于使激光射束偏转的扫描镜(9a),包括:基体(12)以及用于反射激光射束的镜面(15)。基体(12)具有三维结构化的背侧(14)并由玻璃、尤其石英玻璃或由玻璃陶瓷、尤其微晶玻璃构成。本发明也涉及一种具有至少一个这种扫描镜(9a)的扫描装置以及一种具有这种扫描装置的照射装置。
公开/授权文献
- CN110398795B 扫描镜、扫描装置和照射装置 公开/授权日:2023-08-22