扫描镜、扫描装置和照射装置
摘要:
本发明涉及一种用于使激光射束偏转的扫描镜(9a),包括:基体(12)以及用于反射激光射束的镜面(15)。基体(12)具有三维结构化的背侧(14)并由玻璃、尤其石英玻璃或由玻璃陶瓷、尤其微晶玻璃构成。本发明也涉及一种具有至少一个这种扫描镜(9a)的扫描装置以及一种具有这种扫描装置的照射装置。
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