发明公开
CN110408890A 一种Al-TiC复合薄膜及其制备工艺
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种Al-TiC复合薄膜及其制备工艺
- 专利标题(英): Al-TiC composite film and preparation process thereof
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申请号: CN201910772984.8申请日: 2019-08-21
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公开(公告)号: CN110408890A公开(公告)日: 2019-11-05
- 发明人: 尚海龙 , 刘达 , 康旭 , 徐浩 , 曹胜彬 , 马冰洋
- 申请人: 上海电机学院
- 申请人地址: 上海市闵行区江川路690号
- 专利权人: 上海电机学院
- 当前专利权人: 上海电机学院
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区江川路690号
- 代理机构: 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
- 代理商 周一新
- 主分类号: C23C14/16
- IPC分类号: C23C14/16 ; C23C14/35 ; C23C14/58 ; C22C32/00 ; C22C21/00
摘要:
本发明公开了一种Al-TiC复合薄膜及其制备工艺,Al-TiC复合薄膜由0.1at.%~11at.%TiC和余量的Al组成,具有置换固溶和间隙固溶特征的“双超”过饱和固溶体,其制备工艺包括磁控溅射和退火处理,磁控溅射包括不锈钢基片表面预处理、不锈钢基片氩等离子溅射清洗和不锈钢基片表面气相沉积Al-TiC复合薄膜的步骤,退火处理为在250℃进行真空退火;本发明的Al-TiC复合薄膜强度和硬度高,高温稳定性好,生产效率高,可用于特定零件的涂层材料。
IPC分类: