一种Al-TiC复合薄膜及其制备工艺
摘要:
本发明公开了一种Al-TiC复合薄膜及其制备工艺,Al-TiC复合薄膜由0.1at.%~11at.%TiC和余量的Al组成,具有置换固溶和间隙固溶特征的“双超”过饱和固溶体,其制备工艺包括磁控溅射和退火处理,磁控溅射包括不锈钢基片表面预处理、不锈钢基片氩等离子溅射清洗和不锈钢基片表面气相沉积Al-TiC复合薄膜的步骤,退火处理为在250℃进行真空退火;本发明的Al-TiC复合薄膜强度和硬度高,高温稳定性好,生产效率高,可用于特定零件的涂层材料。
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