一种红外光偏振传感器、芯片
Abstract:
本发明涉及一种红外偏振传感器,基于MEMs加工工艺制作,包括探测波导、环形谐振腔波导和热敏微悬梁臂,其特征在于所述热敏微悬梁臂上集成红外偏振片,该红外偏振片接收自然红外光,并输出偏振红外光至与所述红外偏振片集成的所述热敏微悬梁臂上使所述热敏微悬梁臂发生热致弯曲变形,使所述环形谐振波导中传播的所述探测光和激发光振幅和频率发生漂移。利用红外偏振滤光片阵列与MEMS结构相结合,将红外探测信号转化为可见光或近红外光信号强度或频率变化,无需使用昂贵的红外热敏材料或下转换材料即可实现红外偏振光检测,具有廉价、灵敏等特点。
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