本发明涉及一种用于感应加热气溶胶形成基质的多层感受器组件，其至少包括第一层和紧密连接到所述第一层的第二层。所述第一层包括第一感受器材料。所述第二层包括具有低于500℃的居里温度的第二感受器材料。所述感受器组件还包括紧密连接到所述第二层的第三层。所述第三层包括特定应力补偿材料和特定层厚度，用于补偿在处理所述多层感受器组件之后在所述组件中发生的热膨胀差异，使得至少在补偿温度范围内，所述感受器组件的总体热变形基本上限于面内变形。所述补偿温度范围至少从比所述第二感受器材料的所述居里温度低20K一直延伸到所述第二感受器材料的所述居里温度。