一种气相层析设备的分离系统，包含一分离流路，是由半导体制程制出多个流路单元堆叠组成，该每个流路单元是由一底基材上制出一成形层再堆叠一上基材所构成，且于该成形层生成出一连续延伸环路连通的导气通路。导气通路中设置填充材，使得进入分离流路内的受测样品被填充材的吸附力所牵引，受测样品所含不同的化合物其吸附力也不同，透过受测样品所含不同的化合物受不同的吸附力所牵引，让受测样品所含不同的化合物于分离流路内产生不同的流速，进而使不测样品所含不同的化合物于分离流路内逐渐分离。