- 专利标题: 石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关及其制备方法
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申请号: CN201910762017.3申请日: 2019-08-19
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公开(公告)号: CN110441861B公开(公告)日: 2020-06-02
- 发明人: 衣云骥 , 吕佳文 , 曹悦 , 林柏竹 , 杨悦 , 孙小强 , 王菲 , 张大明
- 申请人: 吉林大学
- 申请人地址: 吉林省长春市前进大街2699号
- 专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市前进大街2699号
- 代理机构: 长春吉大专利代理有限责任公司
- 代理商 刘世纯; 王恩远
- 主分类号: G02B6/138
- IPC分类号: G02B6/138 ; G02B6/13 ; G02F1/01
摘要:
一种石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关及其制备方法,属于光波导型热光开关制备技术领域。本发明是在二氧化硅衬底上旋涂光敏聚合物芯层材料,采用掩模版对光敏聚合物芯层材料进行光刻得到光波导芯层,然后旋涂石墨烯掺杂的聚合上包层材料、蒸镀金属膜、旋涂光刻胶、对版光刻、显影制备电极图形,最后解理,从而在衬底上制备出石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关。本发明以梯形的包层结构代替平整的包层结构,提高了电极的加热效率。采用掺杂单层石墨烯分散液的聚合物材料代替传统聚合物材料,解决聚合物热导率低导致的功耗大和开关时间长的问题。本发明具有工艺流程简单、制备精度良好等优异效果。
公开/授权文献
- CN110441861A 石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关及其制备方法 公开/授权日:2019-11-12