石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关及其制备方法
摘要:
一种石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关及其制备方法,属于光波导型热光开关制备技术领域。本发明是在二氧化硅衬底上旋涂光敏聚合物芯层材料,采用掩模版对光敏聚合物芯层材料进行光刻得到光波导芯层,然后旋涂石墨烯掺杂的聚合上包层材料、蒸镀金属膜、旋涂光刻胶、对版光刻、显影制备电极图形,最后解理,从而在衬底上制备出石墨烯掺杂梯形包层的MZI型光波导混合集成热光开关。本发明以梯形的包层结构代替平整的包层结构,提高了电极的加热效率。采用掺杂单层石墨烯分散液的聚合物材料代替传统聚合物材料,解决聚合物热导率低导致的功耗大和开关时间长的问题。本发明具有工艺流程简单、制备精度良好等优异效果。
0/0