本发明公开了一种多晶硅电极隔热罩清洗装置及方法，包括一组隔热罩清洗槽、凝液收集罐、以及碱液回收罐；所述隔热罩清洗槽外壁设有夹套，一组隔热罩清洗槽外壁的夹套通过管道依次串联，其一端连接蒸汽管道，另一端通过冷凝液回收管连接至凝液收集罐；凝液收集罐底部通过凝液排放管分别连接至隔热罩清洗槽，隔热罩清洗槽底部分别通过碱液回收管连接碱液回收罐，隔热罩清洗槽底部分别连接有氮气管，隔热罩清洗槽顶部连接有纯水补充管。本发明能够实现快速高效的隔热罩清洗工作，单批隔热罩清洗完成后能够快速的对清洗装置进行清洁，避免对下一批隔热罩的清洗产生污染，实现隔热罩批量连续化清洗，为多晶硅生产产能的提高提供条件。