本发明公开了一种高度可调的磁控加热一体式装置及其制备方法，该装置由硅晶圆片、聚酰亚胺以及金属材料通过MEMS工艺制备而成。所述装置包括：作为顶部盖板和底部底板的加热板，加热板正反两面上溅射了特殊布线的加热线圈，以实现低磁场加热；分布在四周的四个磁壁，磁壁上溅射一层金属作为磁场线圈，四个磁壁的对称分布实现磁场中心的高均匀性；四个位于侧面的支撑壁，通过刻蚀实现的凹槽可以调节磁壁的高度，从而调节磁场均匀点高度，板壁间通过聚酰亚胺作为铰链实现链接，从而使得应用中磁场中心的调节以及光路对准更为便利，同时可应用在不同规格的原子气室上，应用范围广。