发明授权
- 专利标题: 一种旋涂装置
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申请号: CN201910780809.3申请日: 2019-08-22
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公开(公告)号: CN110560282B公开(公告)日: 2020-12-29
- 发明人: 杨进 , 郜晨希 , 刘金虎
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 房德权
- 主分类号: B05B3/10
- IPC分类号: B05B3/10 ; B05B13/02
摘要:
本发明公开了一种旋涂装置,属于表面涂覆技术领域,通过电机,所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴;样片托盘,所述样片托盘位于所述转动轴的顶端;转盘,所述转盘设置在所述样片托盘的下方,且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离;腔室,所述腔室设置在所述转盘的下方,且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离;弹性件,所述弹性件设置在所述腔室的底端,且所述弹性件套设在所述转动轴外部,从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转,经常有漏气情况发生的技术问题,达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性,提高整机气路的畅通,提高样片在设备中的吸附能力,延长设备使用寿命的技术效果。
公开/授权文献
- CN110560282A 一种旋涂装置 公开/授权日:2019-12-13