一种旋涂装置
摘要:
本发明公开了一种旋涂装置,属于表面涂覆技术领域,通过电机,所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴;样片托盘,所述样片托盘位于所述转动轴的顶端;转盘,所述转盘设置在所述样片托盘的下方,且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离;腔室,所述腔室设置在所述转盘的下方,且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离;弹性件,所述弹性件设置在所述腔室的底端,且所述弹性件套设在所述转动轴外部,从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转,经常有漏气情况发生的技术问题,达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性,提高整机气路的畅通,提高样片在设备中的吸附能力,延长设备使用寿命的技术效果。
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