一种用于散射实验站的真空腔体组件
摘要:
本发明提供一种用于散射实验站的真空腔体组件,包括:真空腔体本体;连接于真空腔体本体前端的波纹管;设置于真空腔体本体后端的透光窗口,透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜;设置于底部的两套二维运动平台;分别通过一连接装置与二维运动平台连接的第一、第二束流阻挡器;以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管;其中,第一、第二束流阻挡器可同时运动或分别运动,同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。该真空腔体组件可实现样品的大q值测量,并且结构简单、易于维护,束流阻挡器可灵活拆卸,满足不同用户不同实验要求;同时为实验站GISAXS实验自动化对样提供硬件条件。
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