一种气体传感器及其制备方法
摘要:
本公开的目的是提供一种气体传感器及其制备方法,传感器电极刻画、敏感材料涂敷过程的制备工序简洁高效,且敏感材料一致性好。同时使用寿命也高于现有产品。为了达到所述目的,本公开包括所述步骤:步骤1:刻画电极;步骤2:沉积材料;超快激光通过绝缘基片直接聚焦于敏感材料压片表面,扫描过程中气体敏感材料形成烟雾束向上沉积,并附着于绝缘基片上形成絮状网格三维结构,扫描完毕后气体传感器制备即完成。由于采用了所述技术方案,在整个过程中,本公开可以仅用一套激光发生器就完成刻画电极和沉积材料两个步骤。整个加工过程处于相对较低温度,属于冷加工。气体传感器加工完毕后无需冷却步骤直接可以投入使用。
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