发明授权
- 专利标题: 一种MEMS麦克风
-
申请号: CN201780089836.5申请日: 2017-05-05
-
公开(公告)号: CN110574395B公开(公告)日: 2020-11-13
- 发明人: 邹泉波 , 王喆 , 晏嘉良
- 申请人: 潍坊歌尔微电子有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
- 专利权人: 潍坊歌尔微电子有限公司
- 当前专利权人: 潍坊歌尔微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
- 代理机构: 北京市隆安律师事务所
- 代理商 权鲜枝; 吴昊
- 国际申请: PCT/CN2017/083306 2017.05.05
- 国际公布: WO2018/201471 EN 2018.11.08
- 进入国家日期: 2019-10-21
- 主分类号: H04R19/04
- IPC分类号: H04R19/04 ; H04R1/08
摘要:
一种MEMS麦克风,包括由PCB基板(1)和外壳(2)包围形成的封装结构,所述封装结构内设置有MEMS声电芯片(3),PCB基板(1)对应MEMS声电芯片(3)的位置设置有声孔(11),该MEMS麦克风还包括过滤器(5),过滤器(5)嵌入设置在MEMS声电芯片(3)的背孔中,过滤器(5)与PCB基板(1)之间留有横向孔隙,横向孔隙作为MEMS声电芯片采集声音的声音通道。该MEMS麦克风能够防止气流冲击,阻挡动力学颗粒对MEMS麦克风的干扰,同时保持MEMS麦克风的声学性能,降低MEMS麦克风的封装尺寸。
公开/授权文献
- CN110574395A 一种MEMS麦克风 公开/授权日:2019-12-13