便于真空密封圈更换的保持架法兰结构
摘要:
本发明公开了一种便于真空密封圈更换的保持架法兰结构,包括真空室法兰、保持架法兰、门法兰、夹取块、挂件组件、密封圈;所述真空室法兰上端设有用于安装挂件组件的安装定位槽;所述保持架法兰上部设有一个以上的安装孔,与安装孔数量对应的挂件组件固定于安装孔内,所述挂件组件包括销柱、垫片和螺钉;所述保持架法兰顶部正中安装有夹取块;所述保持架法兰两侧均设有密封槽,密封圈置于密封槽内。本发明将密封圈安装在保持架法兰上,无需单独更换胶圈,可对保持架法兰进行整体更换。而且本发明在保持架法兰上设有夹持块,方便机械手远程操作。
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