发明授权
- 专利标题: 一种传感器的划切方法
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申请号: CN201910935117.1申请日: 2019-09-29
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公开(公告)号: CN110581100B公开(公告)日: 2021-12-31
- 发明人: 巩向辉 , 吴其勇 , 付博
- 申请人: 潍坊歌尔微电子有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
- 专利权人: 潍坊歌尔微电子有限公司
- 当前专利权人: 潍坊歌尔微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
- 代理机构: 北京博雅睿泉专利代理事务所
- 代理商 杨璐; 王昭智
- 主分类号: H01L21/786
- IPC分类号: H01L21/786
摘要:
本发明公开了一种传感器的划切方法,包括基板和设置在基板上呈矩阵排列的多个传感器;所述划切方法包括:将所述基板贴装在衬底上;将保护膜粘接在所述多个传感器的顶部;所述保护膜包括胶带层和贴装在胶带层第一表面上的保护层,所述胶带层的第二表面上通过模切的方式形成有多个功能区,每个功能区的两侧具有切口,相邻的两个功能区之间为间隔区,所述多个功能区分别对应的粘接在所述多个传感器的顶部;将所述保护层从所述胶带层上剥离;将所述胶带层上的多个功能区分离;对所述基板进行划切;将所述传感器顶部粘接的功能区去除。
公开/授权文献
- CN110581100A 一种传感器的划切方法 公开/授权日:2019-12-17
IPC分类: