发明授权
- 专利标题: 一种光栅刻刀方位角的调整方法
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申请号: CN201910887122.X申请日: 2019-09-19
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公开(公告)号: CN110596804B公开(公告)日: 2020-12-08
- 发明人: 糜小涛 , 张善文 , 齐向东 , 林雨 , 周敬萱 , 江思博 , 于海利 , 于宏柱
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市长春经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市长春经济技术开发区东南湖大路3888号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 田媛媛
- 主分类号: G02B5/18
- IPC分类号: G02B5/18
摘要:
本申请公开了一种光栅刻刀方位角的调整方法,包括:利用预先根据光栅刻刀方位角要求调整过方位角的光栅刻刀在基底上刻划第一刻线,并利用光栅刻刀进行压刃,得到光栅刻刀刃型;获取光栅刻刀刃型的刃尖与第一刻线之间的第一距离、光栅刻刀刃型的刃尾与第一刻线之间的第二距离及光栅刻刀刃型的长度,并得到光栅刻刀的方位角的第一偏转角度;判断第一偏转角度是否满足光栅刻刀方位角要求,若否,则根据第一偏转角度对光栅刻刀的方位角进行调整。本申请公开的上述技术方案,通过对光栅刻刀方位角偏转情况的定量计算实现对其的准确判断,并便于根据所得到的第一偏转角度实现对光栅刻刀的方位角的准确调整,以提高光栅刻刀方位角调整的准确性和效率。
公开/授权文献
- CN110596804A 一种光栅刻刀方位角的调整方法 公开/授权日:2019-12-20