- 专利标题： 用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜及其制造方法
- 专利标题（英）： Adhesive for pellicle, pellicle for photo mask, and method for manufacturing same
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申请号： CN201910478848.8申请日： 2019-06-03
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公开(公告)号： CN110643308A公开(公告)日： 2020-01-03
- 发明人: 金文子 , 丁昶荣
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道水原市
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道水原市
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 刘灿强; 薛义丹
- 优先权： 10-2018-0073625 2018.06.26 KR
- 主分类号： C09J129/04
- IPC分类号： C09J129/04 ; C09J179/02 ; C09J11/06 ; G03F1/48
摘要：
提供一种用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜和制造该护膜的方法。所述粘合剂包括：酚化合物，所述酚化合物具有至少两个羟基；聚合物，具有羟基或胺基；以及水。
公开/授权文献
- CN110643308B 用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜及其制造方法 公开/授权日：2022-09-02