本发明公开了一种超细原子力显微镜金属探针的制备方法和装置。分别制备同质金属断口端和金属针尖，金属断口端置于电学‑力学样品杆固定端，金属针尖装载于可移动端，两端相向布置不接触。在透射电子显微镜内，通过压电陶瓷驱动将金属针尖向断口样品对齐并靠近；在临界接触点对两端施加恒定偏压，利用电致原子迁移效应实现超细原子力显微镜金属探针的制备。本发明中的原子力显微镜金属探针制备方法成功率较高，成品生长方向和长度可控、尖端直径小于5nm，稳定性与导电性良好。