发明公开
- 专利标题： 一种高度有序并且重复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞结构的制备方法
- 专利标题（英）： Preparation method of highly ordered and well repeated axisymmetric periodic nano-pore structure
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申请号： CN201910870310.1申请日： 2019-09-16
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公开(公告)号： CN110668399A公开(公告)日： 2020-01-10
- 发明人: 张小龙 , 张永军 , 王雅新 , 陈雷 , 赵晓宇 , 朱琪
- 申请人： 吉林师范大学
- 申请人地址： 吉林省四平市铁西区海丰大街1301号
- 专利权人： 吉林师范大学
- 当前专利权人： 吉林师范大学
- 当前专利权人地址： 吉林省四平市铁西区海丰大街1301号
- 代理机构： 长春吉大专利代理有限责任公司
- 代理商 李泉宏
- 主分类号： B82B3/00
- IPC分类号： B82B3/00 ; B82Y40/00
摘要：
本发明公开了一种高度有序并且重复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞结构的制备方法，本发明属于微纳结构制造的技术领域，本发明的目的是提供一种能够用于多种材料的微孔腔状结构制备方法，本发明以二维聚苯乙烯胶体阵列为基础结构，先经过第一次蚀刻将小球直径缩小，在通过磁控溅射一层金属材料，然后利用胶带将其粘附到胶带表面使溅射形成的小孔朝上，漏出聚苯乙烯小球，然后利用四氢呋喃溶液将聚苯乙烯小球去除，最后再利用等离子体刻蚀机对胶带表面的样品分别刻蚀1～3min，得到一种高度有序并且重复性好的呈轴对称的周期性的纳米孔洞结构。