发明授权
- 专利标题: 一种石英舟硅片的顶升机构
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申请号: CN201911144664.4申请日: 2019-11-20
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公开(公告)号: CN110739261B公开(公告)日: 2024-09-27
- 发明人: 陈嘉荣 , 吕沫 , 卫晓冲 , 杜虎明 , 岳军 , 王彩云 , 李云峰 , 高布瑾
- 申请人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 申请人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 代理机构: 山西华炬律师事务所
- 代理商 陈奇
- 主分类号: H01L21/687
- IPC分类号: H01L21/687
摘要:
本发明公开了一种石英舟硅片的顶升机构,解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构,在丝杠驱动机构上连接有滑块(7),滑块(7)与顶升架底板(9)连接,在顶升架底板(9)上间隔地彼此平行地设置有两立板(10),在每个立板(10)的顶端均设置有梳齿状托架(11);在石英舟安装架(13)上设置有石英舟(15),在石英舟下方的石英舟安装架(13)上设置有长条缝隙(14),两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架(13)上的长条缝隙(14)和石英舟(15)后设置在石英舟(15)上方,在两个梳齿状托架之间设置有硅片(12)。提高托齿的安装精度,提升生产效率。
公开/授权文献
- CN110739261A 一种石英舟硅片的顶升机构 公开/授权日:2020-01-31
IPC分类: