一种石英舟硅片的顶升机构
摘要:
本发明公开了一种石英舟硅片的顶升机构,解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构,在丝杠驱动机构上连接有滑块(7),滑块(7)与顶升架底板(9)连接,在顶升架底板(9)上间隔地彼此平行地设置有两立板(10),在每个立板(10)的顶端均设置有梳齿状托架(11);在石英舟安装架(13)上设置有石英舟(15),在石英舟下方的石英舟安装架(13)上设置有长条缝隙(14),两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架(13)上的长条缝隙(14)和石英舟(15)后设置在石英舟(15)上方,在两个梳齿状托架之间设置有硅片(12)。提高托齿的安装精度,提升生产效率。
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