发明授权
- 专利标题: 一种低电磁干扰功率器件终端结构
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申请号: CN202010013601.1申请日: 2020-01-07
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公开(公告)号: CN110808245B公开(公告)日: 2020-04-21
- 发明人: 蔡少峰 , 任敏 , 高巍 , 李科 , 陈凤甫 , 邓波 , 贺勇 , 蒲俊德
- 申请人: 四川立泰电子有限公司
- 申请人地址: 四川省遂宁市德泉路微电子园A区
- 专利权人: 四川立泰电子有限公司
- 当前专利权人: 四川立泰电子有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省遂宁市德泉路微电子园A区
- 代理机构: 成都中玺知识产权代理有限公司
- 代理商 安宇宏; 谭昌驰
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02 ; H01L23/552 ; H01L21/82
摘要:
本发明提供了一种低电磁干扰功率器件终端结构,所述终端结构包括:从下至上依次层叠设置的金属化漏极、第一导电类型半导体衬底和第一导电类型半导体外延层,以及第二导电类型半导体主结、第二导电类型半导体等位环、第一导电类型截止环、第二导电类型半导体场限环、第一介质层、第二介质层、第三介质层、导电场板、电阻和金属化源极。本发明能够在场限环和场板之间引入HK介质层,由半导体场限环、HK介质层和场板构成MIS电容结构,并与相邻的多晶硅电阻串联,从而在源极和漏极高电位之间形成了RC吸收网络,能够有效抑制功率器件在快速开关中产生的dv/dt和di/dt,缓解EMI噪声。
公开/授权文献
- CN110808245A 一种低电磁干扰功率器件终端结构 公开/授权日:2020-02-18
IPC分类: