发明公开
- 专利标题: 一种铜材料表面的电化学抛光方法
- 专利标题(英): Electrochemical polishing method for surface of copper material
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申请号: CN201911187583.2申请日: 2019-11-27
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公开(公告)号: CN110846710A公开(公告)日: 2020-02-28
- 发明人: 刘洋 , 董笑瑜 , 梁田 , 吴亚琴 , 成红霞 , 唐中华 , 吕婧
- 申请人: 南京三乐集团有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区光明路5号
- 专利权人: 南京三乐集团有限公司
- 当前专利权人: 南京三乐集团有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区光明路5号
- 代理机构: 南京苏高专利商标事务所
- 代理商 李琼
- 主分类号: C25F3/22
- IPC分类号: C25F3/22
摘要:
本发明涉及一种铜材料表面的电化学抛光方法,包括如下步骤:配制抛光溶液;将待抛光铜材料浸入抛光溶液中,开通电源进行抛光;其中,配制抛光溶液包括:根据要配制溶液的总体积计算各溶质的用量,溶质包括磷酸、丙三醇、硫脲和聚氧乙烯烷醇酰胺;根据计算结果,称取磷酸、丙三醇导入耐腐蚀容器中,加水至达到所述总体积,搅拌溶解得到第一中间溶液;根据计算结果,称取硫脲并加入到第一中间溶液中,搅拌溶解得到第二中间溶液;根据计算结果,量取聚氧乙烯烷醇酰胺并加入到第二中间溶液中,搅拌均匀得到抛光溶液。本发明能使铜精密零件的表面粗糙度从Ra0.4μm提高至Ra0.2μm,以满足真空电子器件使用要求。
公开/授权文献
- CN110846710B 一种铜材料表面的电化学抛光方法 公开/授权日:2021-04-23