本发明涉及一种多晶硅渣浆高效回收工艺系统，该系统包括闪蒸设备、真空过滤设备、浓缩设备、水解设备、粗氯硅烷储罐、精氯硅烷储罐和尾气处理设备。闪蒸设备分别连有硅渣浆输送管道、真空过滤设备，并通过深冷设备Ⅰ与粗氯硅烷储罐相连；粗氯硅烷储罐与真空过滤设备相连，并通过尾气处理设备与精氯硅烷储罐相连；尾气处理设备与真空过滤设备相连，该真空过滤设备分别连有清液罐、滤渣罐；清液罐通过浓缩设备分别连有深冷设备Ⅱ、水解设备；滤渣罐与水解设备相连，该水解设备分别与废水处理单元、稀碱液输送管道相连；深冷设备Ⅱ与精氯硅烷储罐相连。本发明回收率高、废水排放少，可以广泛应用于低粘度低易于过滤的石化渣浆领域。