发明授权
- 专利标题: 微粒检测模块
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申请号: CN201811001754.3申请日: 2018-08-30
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公开(公告)号: CN110873680B公开(公告)日: 2023-08-01
- 发明人: 莫皓然 , 陈世昌 , 林景松 , 徐振春 , 李绍南 , 黄启峰 , 韩永隆 , 陈宣恺 , 郭俊毅
- 申请人: 研能科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
- 专利权人: 研能科技股份有限公司
- 当前专利权人: 研能科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
- 代理机构: 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 聂慧荃; 郑特强
- 主分类号: G01N15/02
- IPC分类号: G01N15/02 ; G01N15/06
摘要:
一种微粒检测模块,包含:一基座,内部具有一检测通道及一光束通道;一检测部件,设置于该基座内,并包含一激光器及一微粒传感器,设激光器发射光束投射于该光束通道中,微粒传感器对应设置到该检测通道与该光束通道正交位置;一微型泵,承载于该基座中,并封盖该导气凹槽;其中微型泵受驱动吸附引导该基座外部的气体快速导入检测通道中,气体通过该检测通道与该光束通道正交位置,受该激光器照射而投射光点至微粒传感器,微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。
公开/授权文献
- CN110873680A 微粒检测模块 公开/授权日:2020-03-10