感光性树脂组合物、使用其的感光性树脂层和电子装置

Invention Grant

CN110874015B 感光性树脂组合物、使用其的感光性树脂层和电子装置有权

Abstract:

本发明公开：一种感光性树脂组合物，包含(A)碱溶性树脂、(B)感光性二氮醌化合物、(C)由化学式1表示的化合物以及(D)溶剂；感光性树脂层，使用所述感光性树脂组合物制造；以及电子装置，包含所述感光性树脂层。在化学式1中，每一取代基与说明书中所定义的相同。[化学式1]

Public/Granted literature

Information query

Chinese Patent Announcement Global Dossier Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）