一种超薄无衬底颜色可调谐的表面等离子体滤波器
摘要:
本发明涉及微纳集成光学器件技术领域,公开了一种超薄无衬底颜色可调谐的表面等离子体滤波器。所述滤波器结构包括:波导层,缓冲层和矩形金属纳米盘阵列。其中波导层上覆盖有缓冲层,缓冲层上刻蚀有均匀排布的矩形金属纳米盘阵列,矩形金属纳米盘阵列x方向周期为Px,y方向周期为Py。当x与y相等,通过改变x(y)方向周期,可实现对滤出颜色的静态调制,当x与y不相等,可通过改变周期以实现对滤出颜色的静态调制,改变光的偏振以实现对滤出颜色的动态调制。本专利有着体积小,传输效率高,结构设计简单,能够同时实现对颜色的静态调制以及动态调制,可固定TE(TM)偏振滤出颜色,单独调制TM(TE)偏振下滤出的颜色等优点。本发明在未来光电器件集成,超高分辨率成像,LCD液晶显示系统等领域都有重要的应用。
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