本发明公开了一种半导体激光相干阵列，传输层背向衬底一侧表面刻蚀有至少三个相互平行的脊型波导，以及位于相邻两个脊型波导之间的多模干涉波导；多模干涉波导包括第一多模干涉波导和第二多模干涉波导，第一多模干涉波导与相邻两个脊型波导的反射面端部相接触，第二多模干涉波导与相邻两个脊型波导的出光面端部相接触，任意相邻两个脊型波导之间仅设置一个多模干涉波导，第一多模干涉波导和第二多模干涉波导沿垂直于脊型波导的方向交替分布。利用多模干涉波导的自成像效应可以提高阵列器件的相干性，提高器件的光束质量。本发明所提供的制备方法同样具有上述有益效果。